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简介:上海伯东美国 KRI 大口径射频离子源 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 套装包含离子源本体和电源控制器.
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简介:上海伯东代理美国 进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列 ,离子能量 的栅极离子源
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简介:KRI 考夫曼离子源 KDC 100上海伯东代理美国 进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 中型规格栅极离子源, 广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中, 考夫曼离子源 KDC 100 采用双阴...
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简介:上海伯东代理美国 进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸最小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗...
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简介:KRI Ion Source 应用领域:无栅极等离子源技术----End-Hall 离子/等离子源有栅极离子源技术----RFICP 离子源
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简介:上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供多个类型的低能量高密度的电子源, 从简单的热电子灯丝模式到中空阴极模式,典型应用在等离子和离子工艺中的阴极和阳极中和器, 通过 技术完成电子的发射, 测量和束...
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简介:伯东公司是美国考夫曼公司 Kuafman & Robinson,Inc(KRI) 中国总代理. KRI 考夫曼公司是由离子源发明人 Dr.Kaufman 考夫曼博士于 1978年在美国创立...
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简介:上海伯东代理美国 进口 KRI 射频离子源 RFICP 220 高能量栅极离子源, 适用于离子溅镀, 离子沉积和离子蚀刻. 在离子束溅射工艺中, 射频离子源 RFICP 220 配有离子光学元件,...
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简介:上海伯东代理美国 进口 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,射频离子源 RFICP 14...
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简介:尺寸: 直径= 9.7“ 高= 6”放电电压 / 电流: 50-300V / 20A操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
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